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光致抗蚀剂

  • 什么是光刻胶?光刻胶有哪些类型?

    什么是光刻胶?光刻胶有哪些类型?

    光刻胶又称光致抗蚀剂,是由光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、单体(活性稀释剂)、溶剂和其他助剂组成的对光敏感的混合液体,是一种图形转移介质,可利用光照反应后溶解度不同将掩膜版图形转移至衬底上。光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。目前光刻胶被广泛应用于光电信息产业的微细图形线路的加工制作,是电子制造领域的关键材料之一。光刻工艺是半导体制造过程中的重要步骤。光刻工艺利用化学反...

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